无尘室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。没有无尘室，污染敏感零件不可能批量生产。在 FED-STD-2里面，无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。
一、无尘室
无尘室中不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
无尘室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例，
无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。
如每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。
二、无尘室控管之项目
1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。
2. 能防止微尘粒子之产生。
3. 温度和湿度之控制。
4. 压力之调节。
5. 有害气体之排除。
6. 结构物与隔间之气密性。
7. 静电之防制。
8. 电磁干扰预防。
9. 安全因素之考虑。
10. 节能之考量。
11.照度的的调节
12.浮游菌及沉降菌的控制
三、无尘室之分类
1.乱流式(Turbulent Flow)：
空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器(HEPA)进入无尘室，并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。乱流无尘室靠送风气流不断稀释室内空气，将污染空气逐渐稀释，来实现洁净的。气次数决定定义中的净化级别（换气次数越多，净化级别越高）。此型式适用于无尘室等级1,000-100,000级。
优点：构造简单、系统建造成本，无尘室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高无尘室等级。
缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。
2.层流式(Laminar)：
层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用，一般其无尘室等级为Class 1~100。其型式可分为二种：
(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。
优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。
缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。
(2)垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。
3.复合式(Mixed Type)：
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。
此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易；B.维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部无尘室(Clean Spot)：将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
洁净工作台：等级Class 1~100级。
洁净工作棚：为在乱流式之无尘室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用独立之HEPA或ULPA及空调送
风机组而成为一较高级之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。
比较
|
|
乱流式 |
层流式 |
复合式 |
|
水平层流式 |
垂直层流式 |
洁净隧道 |
洁净管道 |
局部无尘 |
|
|
洁净度 |
Class 1000~100000 |
Class 100~1000 |
全区Class 100 |
隧道内Class 100 |
Class 100 |
最靠近面Class 100~1000 |
|
换气次数（次/时） |
15~80 |
100~300 |
300~500 |
隧道内500~1000 |
100~300 |
100~300 |
|
风速（m/s） |
1~3 |
0.45~0.6 |
0.25~0.4 |
0.3~0.5 |
0.25~0.5 |
0.25~0.45 |
|
正压度（mm wg） |
0.5~1.5 |
1.0~2.0 |
1.5~2.5 |
1.0~2.0 |
1.0~2.5 |
1.0~3.0 |
相关概念：
（1）、自净时间：是指无尘室按设计换气次数开始送风到无尘室，室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。1,000级希望不超过20min(分钟) (可取15min计算) 10,000级希望不超过30min(分钟) (可取25min计算) 100,000级希望不超过40min(分钟) (可取30min计算)
（2）、换气次数（按上述自净时间要求设计）1,000级 43.5—55.3次/小时 (规范:50次/小时) 10,000级 23.8—28.6次/小时 (规范:25次/小时) 100,000级 14.4—19.2次/小时 (规范:15次/小时)
四、无尘室气流之流动
无尘室的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。
无尘室系利用HEPA、ULPA过滤空气，其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而无尘室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。
无尘室内的气流是左右无尘室性能的重要因素，一般无尘室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准之时，能以最适当的风速供应，以达到适当的风速供应以达到经济性效果。
另一方面欲达到无尘室洁净度之稳定效果，均一气流之保持亦为一重要因素，均一气流若无法保持，表示风速有异，特别是在壁面，气流会延着壁面发生涡流作用，此时要实现高洁净度事实上很困难。
垂直层流式方向要保持均一气流必须：(a)吹出面的风速不可有速度上的差异；(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)均有涡流之现象发生，而0.5m/s之速度，气流则较均一，目前一般无尘室，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
影响无尘室的气流因素很多，如制程设备、人员、无尘室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。
一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于无尘室空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走；若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部分的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。
无尘室内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之洁净度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少最低；组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。
五、无尘室之构成
无尘室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的)，否则将无法构成一完整且品质良好的无尘室：
(1)天花板系统：
包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。
(2)空调系统：
包括空气舱、过滤器系统、风车等。
(3)隔墙板(Partitional wall)：
包括窗户、门。
(4)地板：
包括高架地板或防静电地板、以及环氧自流平及滚涂地面。
(5)照明器具：
包括日光灯、黄色灯管等。
（6）无尘室之建筑主体构造
一般是用钢筋或骨水泥，但无论是何种构造，必须满足如下之条件：
A.不会因温度变化与振动而发生裂痕；
B.不易产生微尘粒子，且很难附着粒子；
C.吸湿性小；
D.为了维持室内之湿度条件，热绝缘性要高；
六、无尘室按用途分类（可分为两大类）
（1）、工业无尘室
——以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业（半导体、集成电路等）宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业（光盘、胶片、磁带生产）LCD（
液晶玻璃）、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。
（2）、生物无尘室，
主要控制有生命微粒（细菌）与无生命微粒（尘埃）对工作对象的污染。又可分为；
A、 一般生物无尘室，主要控制微生物（细菌）对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀，内部一般保证正压。实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业无尘室。例：制药工业、医院（手术室、无菌病房）食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验室、血站等。
B、 生物学安全无尘室：主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与大气的负压。例：细菌学、生物学、洁净实验室、物物工程（重组基因、疫苗制备）
七、无尘室污染源知识
1、发尘量
无尘室内的发尘量，来自设备的可考虑通过局部排风排除，不流入室内；产品，材料等在运送过程中的发尘与人体发尘量相比，一般极小，可忽略；由于金属半壁（彩钢夹心板）的应用来自建筑表面的发尘也很少，一般占10%以下，发尘主要来自人，占90%左右。在人的发尘量上，由于服装材料和样式的改进，发尘绝对量也不断减少。
A、材质：棉质发尘量最大，以下依次为棉、的确良、去静电纯涤纶、尼龙。
B、样式：大挂式发尘量最大，上下分装型次之，全罩型最少；
C、活动：动作时的发尘量一般达到静止时间3-7倍；
D、清洗：用溶剂洗涤的发尘量降至用一般水清洗的五分之一。
室内维护结构表面发尘量，以地面为准，大约相应8平方米地面时的表面发尘量与一个静止的人的发尘量相当。
2、发菌量
工作人员产生的污染：
1）皮肤：人类通常每四天完成一次皮肤的完全脱换，人类每分钟脱落约1000片皮肤（平均大小为30*60*3微米）
2）头发：人类的头发（直径约为50~100微米）一直在脱落。
3）口水：包括钠、酶、盐、钾、氯化物及食品微粒。
4）日常衣物：微粒、纤维、硅土、纤维素、各种化学品和细菌。
5）人类静止和坐立每分钟将产生10000个大于0.3微米的微粒。
6）人类在头部和躯干做动作时每分钟将产生1000000个大于0.3微米的微粒。
7）人类以0.9m/s的速度行走时每分钟将产生5000000个大于0.3微米的微粒。
分析国外试验资料可以认为：
（1） 无尘室内当工作人员穿无菌服时：
静止时的发菌量一般为10-300个/min.人
躯体一般活动时的发菌量为 150-1000个/min.人
快步行走时的发菌量为 900-2500个/min.人
（2） 咳嗽一次一般为 70~700个/ min.人
喷嚏一次一般为 4000~62000个/ min.人
（3） 穿平常衣服时发菌量 3300~62000个/ min.人
（4） 无口罩发菌量:有口罩发菌量 1:7~1:14
（5） 发菌量：发尘量 1:500~1:1000 据国内事例：
（6） 手术中人员发菌量 878个/ min.人
所以，可知无尘室内无菌衣人员的静态发菌量一般不超过300个/ min.人，动态发菌量一般不超过1000个/ min/人，以此作为计算依据是可行的。
八、无尘室特性 :
(1) 耐久性:
无尘室要有符合环境、无尘室内部的清洗溶液及振动、设备、空气过滤系统的耐久材料。而耐久性，同时也依赖无尘室等级来建造。半导体 Fabs 倾向选择铝，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物质。
(2) 清洗:
在制药和生物工学工业，无尘室的墙壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止滤过性病毒或细菌的污染之特性。在 biotech 市场，清洗真正地是一个最重要的企业。
(3) 成本:
微电子 C/R 建设费可能花费到亿。fab 能更快的被建造起来，产品也就能更快达到这市场。许多半导体公司的口号是较便宜和较好的。然而 "钱" 将成为一个很重要的考虑因素。
(4) 适应性:
一些厂商认为适应性可节省一笔金钱，而适应性意指系统可任意移动或改变而不会招致极大的损失。C/R 的拥有者和设计者的能力为改变一 C/R的关键，所以他们从不将最初的设计定型。
(5) 维护性:
对无尘室 C/R 而言，较严格要求的部分为地板、天花板，以及墙壁的部分。至于维修的问题，对材料的选择是否容易清洁性及维修性都应有其优先级。在应用力面、天花板、地板及墙壁三者之中最重要的为天花板，其包含 HEPA 及 ULPA 等滤网，其可过滤掉房间的微粒子，且其常会因各个不同的需要，便其分开来，供应各个不同区域的小房间，曾有人说 :若建造之预算因某种原因被限制，除了少数的小钱外，其天花板将趋于更贵的地步，其实天花板是一个颇复杂的系统其必须严格地过滤粒子，故其设计必须精确。
许多了解无尘室的人都赞同，第一次拥有无尘室的拥有者，应使用较好之C/R 建筑或工程设计公司或了解建筑 C/R 设计之建筑承包商若假设他们不了解， 则必会浪费一大笔不必要花的钱，故选择一建造C/R 的公司也是非常重要的。
对 C/R 而言，其选择地板的材料也是很重要的。低廉的 C/R 地板覆盖着一层乙烯基在薄板上，若太硬的地板覆盖会引起尘埃，而太软的地板会造成地板弯曲甚致破裂，但并不是所有 C/R 的地板，都会覆盖，乙烯基。有些地板是冲孔式、格子式，而全面层流都是冲孔式。
乙烯基有一作用即脱氧，但高浓度乙烯基与其它物若混合的话将会有减低脱氧的效果，而无尘室的墙若以铝作为材料则将会非常昂贵，但铝却可以保护墙面不被空气所氧化，可是却易受酸性气体的侵蚀，而避免的方法是使用电镀，便铝表面增厚，不易氧化，再在铝表面上再涂上一层亮光漆即可防止金属氧化。
对于半导体工业而言，无尘室是一必要且不可缺之设备，其对空气中的粒子要求非常之严格，故对天花板、墙壁、地板的要求亦非常严格。地板是人员、台车及重量的运输，而清除地板所用者大部分为消毒药品及化学药品，当我们看见地板磨损时，也就是使用期已太久，快破裂了，不仅会使得清静度的降级，也会因地板的磨损而发生空气中粒子的增加。
另外，C/R最怕的就是粒子泄漏。天花板中的滤网有很多种。例如层流式 C/R 而花板的组成组件包含了HEPA/ULPA 滤网组灯光组亦有可能包含空白的嵌板，这类型的天花板优点为，放置方式并没有严格的限制。
C/R 之墙壁还有一种是以薄钢制成，但必须在表层涂上一层保护层，否则亦会腐蚀，它并不容易电镀，而在表层涂上的保护层会变得易碎，很容易剥落，但若选择高质量的不锈钢，就不必涂上保护层7，而使用玻璃作的 C/R 会使得房间的光线大增，以及美观，但必须涂上一抗紫外线的障碍物，且可以视觉互通，较不会产生幽闭恐惧症。
无尘室的判定与相关参数
依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard（FS）209E，1992】，可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸不是0.5um，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10级在0.2um（尘粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75颗/立方英尺），1级在0.1um（尘粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35颗/立方英尺）。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。
二、联邦规格
无尘室等级现今一般多奉行与美国所制定的联邦规格（U.S.Federalstandard209b），BCR则多参考明规
定生物粒子限值的NASA规格（美国航空署5340.2规格）。其Fed.std清洁度的表示法为：1ft3
空气中，含有多少个0.5μm（micro）以上的微粒子，及称为[等级○○]例如：空气中含有10
个0.5以下时，表示为“等级10”。而自然界大气中通常含有300000~30000000个粒子。
三、在JIS标准下，
无尘室清洁度，共分为8个等级一般清洁度是指空气的洁净等级，分为等级1、2···8，8阶段。在1立方公尺的空气中，粒径0.1微米灰尘若是在10个以下时为1；百个以下是100=102是等级2；千个以下时是1000=103等级3，一次类推。21世界，最尖端产业的发展，加速了产业结构的变革，无尘室设立之必要性也相对地提高。商品日渐的型化和精密化，尘埃和温湿的变化对商品的完成度亦造成极大的危害，导致品质低下。伴随商品的高品质求，环境无尘化的需求也日益提高。因此在无尘室中用防尘材料及商品都显得格外重要。所谓的无尘室是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路的级数的快速成长，也增加了对制造环境(无尘室)洁净度要求，在工业上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断地增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。
四、相关技术参数
美国联邦标准（USA Federal Standard）209E
|
尘粒数/英尺级数 |
0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.4μm |
0.5μm |
|
1 |
35 |
7.5 |
3 |
1 |
N/A |
|
10 |
350 |
75 |
30 |
10 |
N/A |
|
100 |
N/A |
750 |
300 |
100 |
N/A |
|
1000 |
N/A |
N/A |
N/A |
1000 |
7 |
|
10000 |
N/A |
N/A |
N/A |
10000 |
70 |
|
100000 |
N/A |
N/A |
N/A |
100000 |
700 |
中国药品生产洁净室的空气洁净度标准
|
洁净度级别 |
尘埃最大数/平方 |
微生物最大允许数 |
|
|
≥0.5um |
≥5um |
浮游菌个立方米 |
沉降菌个/皿.30min |
|
100 |
3500 |
0 |
5 |
1 |
|
1000 |
350000 |
2000 |
100 |
3 |
|
10000 |
3500000 |
20000 |
500 |
10 |
|
100000 |
10500000 |
61800 |
NA |
15 |
基于≥0.5um粒径的各国洁净度等级近似对照表
个/M3
≥0.5um |
ISO
14644-1
(1999) |
US
209E
(1992) |
US
209D
(1988) |
EEC
GGMP
(1981) |
FRANCE
AFNOR
(1981) |
GERMANY
VDI2083
(1990) |
JAPAN
JAOA
(1989) |
|
1 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
|
3.5 |
2 |
- |
- |
- |
- |
0 |
2 |
|
10.0 |
- |
M1 |
- |
- |
- |
- |
- |
|
35.3 |
3 |
M1.5 |
1 |
- |
- |
1 |
3 |
|
100 |
- |
M2 |
- |
- |
- |
- |
- |
|
353 |
4 |
M2.5 |
10 |
- |
- |
2 |
4 |
|
1000 |
- |
M3 |
- |
- |
- |
- |
- |
|
3530 |
5 |
M3.5 |
100 |
A+B |
4000 |
3 |
5 |
|
10000 |
- |
M4 |
- |
- |
- |
- |
- |
|
35300 |
6 |
M4.5 |
1000 |
1000 |
- |
4 |
6 |
|
100000 |
- |
M5 |
- |
- |
- |
- |
- |
|
353000 |
7 |
M5.5 |
10000 |
C |
400000 |
5 |
7 |
|
1000000 |
- |
M6 |
- |
- |
- |
- |
- |
|
3530000 |
8 |
M6.5 |
100000 |
D |
4000000 |
6 |
8 |
|
10000000 |
- |
M7 |
- |
- |
- |
- |
- |
洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级
|
空气洁净度等级（N） |
大于或等于表中粒径的最大浓度限值（pc/m3） |
|
|
0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
1um |
5um |
|
1 |
10 |
2 |
|
|
|
|
|
2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
|
|
|
3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
|
4 |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
|
|
5 |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
|
6 |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
|
7 |
|
|
|
352000 |
83200 |
2930 |
|
8 |
|
|
|
3520000 |
（Clean room engineering Design & Construction） |
29300 |
|
9 |
|
|
|
35200000 |
8320000 |
293000 |
洁净室风速和风量测试
1、风速测试仪器可使用热球式风速计、超声风速计、叶片式风速计等；风量测试可使用带流量计的风罩、文丘里流量计、孔板流量计等。
2 、单向流设施的截面风速、面风速和风量测试
1）、单向流设施的风速测试，应将测试平面垂直于送风气流，该测试平面距离高效空气过滤器出风面150～300mm，宜采用300mm。将测试平面分成若干面积相等的栅格，栅格数量不少于测试截面面积（m
2）的平方，测点在每个栅格的中心，全部测点不少于3点。
直接测量过滤器面风速时，测点距离过滤器出风面为150mm。将测试面划分为面积相等的栅格，每个栅格尺寸为600mm×600mm或更小，测点在每个栅格的中心。
每一点的持续测试时间至少为10秒，记录最大值、最小值和平均值。
单向流洁净室（区）的总送风量（
Qt），应按式（C.2.2）计算：
（m
3/h） （C.2.2）
式中：——每个栅格的平均风速（m/s）；
A——每个栅格的面积（㎡）。
2 ）、单向流设施的风速分布测试，一般选取工作面高度为测试平面，平面上划分的栅格数量不少于测试截面面积（m
2）的平方，测点在每个栅格的中心。
风速分布的不均匀度β
０按下列公式计算，一般不应大于０.25
β
０= s/v
式中 v——各测点风速的平均值；
s——标准差。
风速分布测试宜于空态测试，当安装好工艺设备和工作台时，在其附近测得的数据可能不能反映洁净室本身的特点。
3、对非单向流设施的风速、风量的测试
1 ）、风口法测试风速、风量
在每个测点的持续测试时间至少为10秒，以得到有代表性的平均值。每个空气过滤器或送风散流器的风速、风量测试，可参照C.2.2.1中面风速及风量的测试和计算方法。
2 ）、风管法测试风量
对于高效空气过滤器或散流器风口上风侧有较长的支风管段，且已有预留孔时，可以采用风管法测试风量，测量断面应位于大于或等于局部阻力部件前3倍管径或长边长和局部阻力部件后5倍管径或长边长的部位。
矩形风管的测试断面，应划分为若干个相等的小截面，每个小截面宜为正方形，边长不应大于200mm，测点位于小截面中心，但测点数不少于3点；园形风管的测试断面，应根据管径大小划分为若干个面积相同的同心园环，每个园环测4点，园环数不宜少于3个。
3 ）、风罩法测试风量，使用带有流量计的风罩测量空气过滤器的送风量时，风罩的开口应全部罩住空气过滤器或散流器，风罩面应固定在平整的平面上，避免空气泄漏造成读数不准确。
若在高效空气过滤器或散流器风口的上风侧已安装有文丘里或孔板流量装置时，可利用该流量计直接测量风量。
无尘车间管理规定 一 、人员管理 1 、进入无尘车间人员需首先了解无尘车间管理规范，并遵守无尘车间的相关管理规定。 2、 尚未被认可的新员工、外单位人员、外宾等须进入无尘车间者，应向公司主管领导报备申请，经主管领导同意后，领取临时证件配于胸前，并在相关人员陪同在场方可进入，并做出入无尘室登记。3、经训练考试合格及主管审核后的人员签发无尘车间工作证。本公司员工凭无尘车间工作证进出车间，证件不得转借、不得涂改、不得伪装，不得携带未经批准人员进入无尘车间。 4 、其他未经允许的相关人员禁止进入无尘车间和风淋室。 二 、无尘衣着装 1 、进入无尘室之工作人员须穿着合适的无尘衣、鞋，不可穿着过大或过小之无尘衣、鞋。禁止穿戴他人衣服、鞋子。 2 、穿着顺序：网冒——口罩——无尘衣——无尘鞋——手套——检查服装衣容。 如图1所示3、口罩更换频率为一个/天，网冒为一个/周；手套、指套一次一换，生产发现手套、指套破损，脏污等立即进行更换；更换过的口罩、网冒、手套等分别置入指定垃圾桶内；禁止随意丢弃。4 、在无尘车间内发现无尘服、口罩等没穿着好，禁止在风淋室车间内整理，必须去门禁室内整理；禁止在车间内随意摆弄无尘衣、拉下口罩。 5 、无尘衣使用完后，整理好无尘服装，进行分类摆放，具体请看《无尘服管理办法与注意事项》。 6 、进出无尘间，严禁携带任何违禁物品，一经发现，严肃处理。
1进入风淋室必须要等吹风风机完全停止时，方可打开内门进入车间，否则强行推门会把互锁装置损坏。
2当遇到风淋门打不开时，请员工将急停开并关闭，断开电源后两侧门均可打开。（下班时两侧门打开，不会影响车间洁净度，因为车间保持了一定的正压）
目前给客户使用的风淋，是经过重新设计，利用声控光感全自动风淋室，操作键是触摸式的，使用方便，操作简单。
3净化车间与更衣室之间没有旁通通道的情况下，工人下班时，先出来的工人可以将风淋急停开关关闭，使风淋室停止工作，下班人员通过风淋，这样做可延长风淋室的使用寿命，使用时可再打开急停开关，恢复正常状态，急停开关只需轻轻触摸，不要用力过猛，以免损坏。
4走出风淋室，请使用风淋室把手（或推门框），不能用手去推风淋门玻璃，防止意外发生。
人流风淋室严格控制生产物品进出，因为物品进出时，都要把风淋室门打开超过90度，经常这样会损坏闭门器的使用功能，造成风淋互锁不灵活或损坏 。
